本文件規(guī)定了氧化銦鋅靶材的技術(shù)要求、試驗方法、檢驗規(guī)則及標(biāo)志、包裝、運輸、貯存及隨行文件和訂貨單內(nèi)容。
本文件適用于以氧化銦粉末、氧化鋅粉末為原料，以常壓燒結(jié)工藝生產(chǎn)的氧化銦鋅靶材。