流化床法顆粒硅 氫含量的測(cè)定 脈沖加熱惰性氣體熔融紅外吸收法
標(biāo) 準(zhǔn) 號(hào)： GB/T 40566-2021
發(fā)布單位： 國(guó)家市場(chǎng)監(jiān)督管理總局 國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì)
起草單位： 無(wú)錫市產(chǎn)品質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)院、上海賽夫特半導(dǎo)體材料有限公司
發(fā)布日期： 2021-10-11
實(shí)施日期： 2022-05-01
