本標準規(guī)定了微納米標準樣板（幾何量）的術語和定義、型式與基本參數(shù)、要求、檢查條件、檢查方法、標志、運輸及儲存等。
本標準適用于線間隔為0.05 μm~10 μm的微納米線間隔標準樣板、臺階高度為0.01 μm~100 μm的微納米臺階高度標準樣板、薄膜厚度為2 nm~1 000 nm的納米膜厚標準樣板和線寬為25 nm~1 000 nm的納米線寬標準樣板。