本標準規(guī)定了α角的測量方法，α角為垂直于圓型硅片基準參考平面的晶向與硅片表面參考面間角。
本標準適用于硅片的參考面長度范圍應(yīng)符合GB/T 12964和GB/T 12965中的規(guī)定，且硅片角度偏離應(yīng)在-5°到+5°范圍之內(nèi)。