本文件規(guī)定了深冷處理設備分類和型號、設備組成、技術要求、可靠性要求、熱處理工藝要求和工件質量控制要求，描述了工件質量檢驗方法，規(guī)定了生產過程安全衛(wèi)生和環(huán)境保護以及節(jié)能的要求。
本文件適用于以液氮為冷源的汽化對流換熱式深冷處理設備。