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砷化鎵拋光片亞損傷層的X射線雙晶衍射試驗(yàn)方法

標(biāo) 準(zhǔn) 號(hào)： SJ 20714-1998
替代情況：
發(fā)布單位： 中華人民共和國(guó)電子工業(yè)部
起草單位： 電子工業(yè)部第四十六研究所
發(fā)布日期： 1998-03-18
實(shí)施日期： 1998-05-01
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更新日期： 2025年04月29日
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內(nèi)容摘要

本規(guī)范規(guī)定了砷化鎵拋光片亞損傷層的X射線雙晶衍射試驗(yàn)方法。本規(guī)范適用于經(jīng)過(guò)化學(xué)、機(jī)械單面和雙面拋光的砷化鎵拋光片亞損傷層的定性測(cè)量。

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