本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了四氟化硅的技術(shù)要求、試驗(yàn)方法、標(biāo)志、包裝、運(yùn)輸和貯存等內(nèi)容。
本標(biāo)準(zhǔn)適用于螢石硫酸法、六氟硅酸鹽熱分解法、單質(zhì)硅直接氟化法制備的四氟化硅。它主要用作電子工業(yè)中等離子蝕刻、發(fā)光二極管 P形摻雜、離子注入工藝、外延沉積擴(kuò)散的硅源和光導(dǎo)纖維用高純石英玻璃的原料,也是生產(chǎn)多晶硅的重要原料。
分子式:SiF4。
相對(duì)分子質(zhì)量:104.0786128(按2009年國際原子相對(duì)質(zhì)量)。