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多晶硅工廠設(shè)計(jì)規(guī)范

標(biāo) 準(zhǔn) 號(hào)： GB 51034-2014
替代情況：
發(fā)布單位： 中華人民共和國(guó)住房和城鄉(xiāng)建設(shè)部
起草單位： 中國(guó)有色金屬工業(yè)協(xié)會(huì)
發(fā)布日期： 2014-08-27
實(shí)施日期： 2015-05-01
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更新日期： 2016年08月09日
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內(nèi)容摘要

本規(guī)范適用于采用三氯氫硅氫還原法的新建、擴(kuò)建和改建多晶硅工廠的工程設(shè)計(jì)，也適用于硅烷歧化法多晶硅廠中三氯氫硅合成、四氯化硅氫化和氯硅烷提純的工程設(shè)計(jì)。

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