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機械電氣安全 機械電氣設備 第33部分:半導體設備技術條件

標 準 號: GB/T 5226.33-2017
替代情況:
發(fā)布單位: 中華人民共和國國家質量監(jiān)督檢驗檢疫總局 中國國家標準化管理委員會
起草單位: 中微半導體設備(上海)有限公司
發(fā)布日期: 2017-10-14
實施日期: 2018-05-01
點 擊 數(shù):
更新日期: 2018年04月15日
內容摘要

GB/T 5226的本部分規(guī)定了半導體設備相關的制造、測量、組裝和測試的電氣、電子和可編程電子設備及系統(tǒng)的安全要求。
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