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電子工業(yè)用氣體中金屬含量的測定 電感耦合等離子體質(zhì)譜法

標 準 號: GB/T 34972-2017
替代情況:
發(fā)布單位: 中華人民共和國國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗檢疫總局 中國國家標準化管理委員會
起草單位: 上海市計量測試技術研究院等
發(fā)布日期: 2017-11-01
實施日期: 2018-05-01
點 擊 數(shù):
更新日期: 2018年02月05日
內(nèi)容摘要

本標準規(guī)定了應用電感耦合等離子體質(zhì)譜儀測定電子工業(yè)用氣體中金屬元素含量的方法。
本標準適用的電子工業(yè)用氣體種類:氧、氮、氬、氦、氫、氨、氯化氫、硅烷、高純氯、六氟化硫、三氯化硼、三氟化氮、氧化亞氮、六氟乙烷、六氟丁二烯等氣體。
本標準適用的電子工業(yè)用氣體取樣狀態(tài):氣態(tài)。

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